真空箱真空泵，是抽除密封容器中的气体从而获得真空的主要设备。

旋片式真空泵的极限真空为6X10 -2 Pa抽气量为30L/S，用于抽除密封容积中的干燥气体

或含有少量可凝性蒸汽的气体，用于后者时，需要使用该泵的气镇装置。可以用作罗茨泵的前级泵，

适合于中小型的真空冶炼、真空焊接、真空处理、冷冻干燥、电子管、以及半导体器件、太阳能，电池板、电子束加工、

电子显微镜等现代工业技术方面。缺点：旋片式真空泵只能在环境温度5～40°范围内，此种泵对

于抽除含氧过高的、有爆炸性的、对金属有腐蚀性的、对真空油起化学反应的以及含有颗粒灰尘的气

体是不适合的；把气体从一个容器输送到另一个容器作输送泵使用也是不适用的。

中山市小榄镇海泰真空机电设备厂

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